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光刻机简史:一束光如何走了六十九年

2026年7月,一则中国开始制造浸没式深紫外光刻机的消息引发ASML股价大跌,市值蒸发约440亿美元。市场担忧的并非仅五台机器,而是“中国在DUV层面永远依赖进口”这一垄断假设的破裂。这台国产机技术水平约相当于ASML 2008年的产品,存在约18年代差,预计2027年量产。 光刻机发展史是一部“被客户养活”的历史。1957年,美国物理学家杰伊·拉思罗普命名了“光刻”技术。早期经历了接触式、投影式到步进机的演进。美国企业曾领先,但在1980-1990年代,因本土芯片公司更青睐日本产品(尼康、佳能),美国光刻产业迅速衰落。 2001年,荷兰ASML凭借TWINSCAN双工件台技术和收购美国SVG公司崛起。2000年代初,行业在193nm光源上遇到瓶颈。台积电林本坚提出浸没式方案(在镜头与硅片间加水),ASML率先押注并成功,于2004年推出商用机,一举超越当时押注157nm路线的尼康。 更艰难的突破是极紫外光刻。EUV技术自80年代提出,历经超20年研发,面临光源、真空环境等巨大挑战。ASML在英特尔、台积电、三星等客户巨额资金与研发承诺的支持下,最终于2010年代后期实现EUV量产,形成近乎绝对的垄断。 全文核心指出,光刻机的成功迭代不仅依赖技术突破,更关键在于是否有客户愿意长期投资、容忍早期的不完善并持续下单。美国输在客户转向,日本输在押错技术方向,而ASML的成功则得益于与顶级芯片制造商的深度绑定与共同坚持。中国在1966年就已造出接触式光刻机样机,真正的挑战始终在于:造出来后,谁愿意用、并持续用到第十台。

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中国启动芯片光刻机生产:为何专家未急于喝彩

中国一家上海国企已启动沉浸式DUV光刻机的生产,这是制造现代半导体的关键设备。据匿名消息称,该公司计划在2026年生产约五台,2027年约二十台,首批设备将供应给中芯国际、华虹半导体和长鑫存储等企业。生产方为2023年注册、注册资本70亿元的上海艾盛纳电子科技集团,其整合了来自上海宇量昇科技及上海微电子装备等公司的研发团队。 然而,行业专家对此持谨慎态度。消息人士指出,艾盛纳的设备仍需大量测试,且远未达到行业领导者荷兰ASML的水平。分析师强调,小批量生产与具备大规模量产能力的商业可行设备存在本质区别,后者需要极高的良率、对准精度、产能和长期可靠性。专家提醒,过去关于中国在光刻领域取得突破的消息常被夸大,需等待独立验证。目前,ASML的市场主导地位并未受到实质性威胁。 专家认为,对ASML更现实的风险可能来自美国潜在的《MATCH法案》对其设备销售与服务的限制,而非中国当前的进展。艾盛纳设备的前景,最终取决于其能否实现真正的规模化量产,而非仅制造原型机。从宏观角度看,中国市场虽为ASML贡献了约14%的销售额,但并非决定性收入来源。历史经验表明,中国从实验室原型到稳定量产产品的过程往往耗时漫长,艾盛纳能否打破这一模式,需待2027年的实际交付情况来验证。

cryptonews.ru18 小時前

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“人造太阳”的心脏:中国为聚变反应堆制造出世界最大磁体

2026年6月27日,中国科学院合肥物质科学研究院宣布,已成功为“人造太阳”项目完成两个关键超导磁体的研发与全面参数测试。 简单来说,可控核聚变需要将超过1亿摄氏度的等离子体约束起来,使其不接触反应室壁。任何材料都无法承受如此高温,因此需用强磁场将等离子体“悬浮”在真空中。超导磁体正是为了产生这一约束磁场,其性能越强,反应就能维持得越稳定、越久。 测试的第一个部件是极向场超导磁体(TF磁体)。它呈D形,长21米,宽12米,高3.3米,重582吨,被研发方称为目前世界上体积最大、储能最高的聚变装置超导磁体。其体积是国际热核聚变实验堆(ITER)同类磁体的1.3倍,储能则是其3倍。单个TF磁体工作电流达98千安,储能120吉焦,磁体最大场强14.5特斯拉,设计寿命长达60年。未来,16个这样的磁体将组成环形,在等离子体中心产生6.5特斯拉的磁场,用以约束高温等离子体。 第二个通过测试的是高温超导中心螺线管。它能稳定传导60千安电流,储能6.03兆焦,最大磁场变化速率达5.1特斯拉/秒。如果说TF磁体负责约束等离子体的环形形状,中心螺线管则负责诱导并维持等离子体电流,是“点燃”聚变反应的关键。 研发方强调,所有关键技术、材料(包括超导带材、特种钢材、绝缘材料)及工艺均实现了完全自主。研发历时六年,获得47项专利,制定了14项标准。 这两个磁体将用于聚变工程实验堆(BEST)项目。BEST装置的组装计划于2027年底完成,预计在2030年左右展示聚变发电。 核聚变被视为未来清洁、近乎无限的能源。此次测试成功表明,中国已具备自主研制性能超越国际最大合作项目ITER的超大型聚变装置关键部件的能力。 从宏观角度看,核聚变竞赛也是不同研发与融资模式的竞赛。中国项目依靠国家支持与大型化路线,而美国公司等则尝试以高温超导材料和私人资本推动更紧凑的方案。哪种模式能率先实现聚变能源商业化,仍有待观察。

cryptonews.ru昨天 14:11

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