Sejarah Singkat Mesin Fotolitografi: Bagaimana Sinar Menempuh Perjalanan 69 Tahun
**Sejarah Lithography: Bagaimana Sinar Cahaya Berjalan 69 Tahun**
Pada 27 Juli 2026, laporan bahwa sebuah perusahaan di Shanghai mulai memproduksi mesin lithography DUV imersi menekan saham ASML hingga 6.3%, menghapus $44 miliar dari valuasinya. Pasar bereaksi bukan pada 5 mesin pertama itu, tetapi pada retaknya asumsi bahwa China akan selamanya bergantung pada impor untuk teknologi ini. Mesin buatan China tersebut dikatakan setara dengan ASML Twinscan NXT:1950i tahun 2008, tertinggal sekitar 18 tahun.
Perjalanan panjang lithography dimulai pada 1957 ketika Jay Lathrop menciptakan proses "photolithography" di lab militer AS. Era awal menggunakan metode *contact printing*, dan China memulai produksi mesin kontak pertamanya pada 1966, hanya tertinggal 5 tahun.
Revolusi terjadi pada 1973 dengan mesin proyeksi *projection aligner* PerkinElmer yang meningkatkan hasil produksi drastis. Kemudian, pada 1978, GCA memperkenalkan *stepper* (mesin langkah), yang menjadi dasar arsitektur mesin lithography modern.
Namun, pada 1980-1993, dominasi AS runtuh. Perusahaan Jepang seperti Nikon dan Canon, dengan produk yang lebih cepat dan dukungan pasar domestik yang kuat, mengambil alih. AS mundur bukan karena blokade, tetapi karena perusahaan chipnya sendiri lebih memilih mesin dari Jepang.
ASML dari Belanda, didirikan tahun 1984, awalnya berjuang. Titik baliknya datang pada 2001 dengan platform TWINSCAN dan akuisisi SVG. Lompatan besar berikutnya adalah *immersion lithography* (lithography celup) pada 2002-2007. Gagasan dari Burn J. Lin dari TSMC untuk menggunakan air di antara lensa dan wafer disadari oleh ASML, mengalahkan jalan buntu teknologi 157nm yang diikuti pesaing.
Untuk melampaui batas optik, industri beralih ke sumber cahaya EUV (extreme ultraviolet) 13.5nm. Perkembangannya sangat sulit dan mahal, membutuhkan lebih dari 20 tahun riset. ASML akhirnya berhasil dengan dukungan finansial dan komitmen bersama dari Intel, TSMC, dan Samsung melalui *Customer Co-Investment Program* 2012. Kini, ASML mendekati monopoli di pasar EUV dan DUV imersi.
Inti dari sejarah 69 tahun ini bukan sekadar penemuan teknologi. Ini adalah sejarah tentang "siapa yang dihidupi oleh pelanggan". Kesuksesan tidak ditentukan oleh siapa yang pertama membuat prototipe, tetapi oleh siapa yang memiliki ekosistem pelanggan yang bersedia bertahan melalui tahun-tahun awal ketika mesin belum sempurna, memberikan umpan balik, dan memesan secara berkelanjutan. AS bertahan di penemuan, Jepang memiliki kesabaran tetapi salah arah, sementara Belanda, tanpa industri chip domestik yang besar, berhasil karena tiga pelanggan utamanya bersedia menjalani perjalanan panjang bersamanya. Cahaya itu berjalan 69 tahun, tetapi yang menyelesaikan perjalanan bukanlah cahaya itu sendiri, melainkan jaringan kesabaran, kepercayaan, dan kolaborasi industri di belakangnya.
marsbitKemarin 16:34
