Краткая история литографии: как один луч света шёл шестьдесят девять лет
В 2026 году появление пяти иммерсионных DUV-литографов китайского производства вызвало падение акций ASML на 6,3%, стерев с её капитализации 440 млрд долларов. Это событие поколебало идею о вечной зависимости Китая от импорта оборудования такого уровня. История литографии, начавшаяся с Джейя Ласропа в 1957 году, — это история не столько технологий, сколько выживания производителей благодаря клиентам.
После первых контактных машин (США, 1960-е, Китай — 1966 г.) развитие шло через проекционные (PerkinElmer, 1973) и пошаговые (GCA, 1978) системы. В 1980-х доминирование США за десять лет сменилось гегемонией японских Nikon и Canon. Однако ключевой прорыв — иммерсионная литография — произошёл благодаря ASML и идее тайваньца Берни Лин (2002) о воде между линзой и пластиной, что обошло тупиковую гонку за 157 нм.
Создание EUV-литографа (13,5 нм) потребовало 21 года, инвестиций в 60+ млррд евро и совместного финансирования от Intel, TSMC и Samsung. Итог: ASML владеет почти 100% рынка EUV и ~99% иммерсионного DUV.
Суть этой 69-летней гонки: победитель определяется не тем, кто создаст прототип (это делали многие, включая Китай в 1966 и 1985), а тем, у кого есть клиенты, готовые десятилетиями терпеть несовершенные первые модели, делиться инженерами и финансировать разработку. США потеряли отрасль, отказавшись покупать свои машины. Япония проиграла, сделав неверную ставку на 157 нм. Голландская ASML выжила, потому что её клиенты — крупнейшие чипмейкеры мира — согласились «кормить» её всё время пути.
marsbit1 ч. назад
